P-типті SiC пластинасы 4H/6H-P 3C-N 6 дюйм қалыңдығы 350 мкм, негізгі тегіс бағдары бар
Спецификация4H/6H-P Type SiC Composite Substrates Жалпы параметрлер кестесі
6 дюйм диаметрі кремний карбиді (SiC) субстрат Техникалық сипаттама
Баға | Нөлдік MPD өндірісіСынып (З Бағасы) | Стандартты өндірісСынып (П Бағасы) | Жалған баға (D Бағасы) | ||
Диаметрі | 145,5 мм~150,0 мм | ||||
Қалыңдығы | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
Вафельді бағдарлау | -Offось: 4H/6H-P үшін 2,0°-4,0° [1120] ± 0,5°, ось бойынша: 3C-N үшін 〈111〉± 0,5° | ||||
Микроқұбырдың тығыздығы | 0 см-2 | ||||
Қарсылық | p-түрі 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏсм | ≤0,3 Ωꞏсм | ||
n-түрі 3C-N | ≤0,8 мΩꞏсм | ≤1 м Ωꞏсм | |||
Бастапқы тегіс бағдарлау | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Негізгі жазық ұзындық | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
Қосымша жазық ұзындық | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
Қосымша жазық бағдарлау | Кремний беті жоғары: 90° CW. Prime flat бастап ± 5,0° | ||||
Жиектерді алып тастау | 3 мм | 6 мм | |||
LTV/TTV/Садақ /Бүйірлік | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
Кедір-бұдыр | Поляк Ra≤1 нм | ||||
CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
Жоғары қарқынды жарықтың әсерінен жиектердің жарықтары | Жоқ | Жиынтық ұзындығы ≤ 10 мм, бір ұзындық≤2 мм | |||
Жоғары қарқынды жарық арқылы алты қырлы тақталар | Жиынтық ауданы ≤0,05% | Жиынтық ауданы ≤0,1% | |||
Жоғары қарқынды жарықпен политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤3% | |||
Көрнекі көміртек қосындылары | Жиынтық ауданы ≤0,05% | Жиынтық ауданы ≤3% | |||
Жоғары қарқынды жарықпен кремний беті сызаттар | Жоқ | Жиынтық ұзындық≤1×вафли диаметрі | |||
Жарық қарқындылығы бойынша жоғары жиектер чиптері | Ешқайсысы ≥0,2 мм ені мен тереңдігіне рұқсат етілмейді | 5 рұқсат етілген, әрқайсысы ≤1 мм | |||
Кремний бетінің жоғары қарқындылықпен ластануы | Жоқ | ||||
Қаптама | Көп вафельді кассета немесе жалғыз вафельді контейнер |
Ескертулер:
※ Ақаулық шектеулері шеткі аймақтан басқа пластинаның бүкіл бетіне қолданылады. # Si бетіндегі сызаттарды тексеру керек
P-типті SiC пластинасы, 4H/6H-P 3C-N, өлшемі 6 дюймдік және қалыңдығы 350 мкм, өнімділігі жоғары электр электроникасының өнеркәсіптік өндірісінде шешуші рөл атқарады. Оның тамаша жылу өткізгіштігі және жоғары бұзылу кернеуі оны электрлік көліктер, электр желілері және жаңартылатын энергия жүйелері сияқты жоғары температуралы орталарда қолданылатын қуат қосқыштары, диодтар және транзисторлар сияқты компоненттерді өндіру үшін өте қолайлы етеді. Вафлидің қатал жағдайларда тиімді жұмыс істеу қабілеті жоғары қуат тығыздығы мен энергия тиімділігін қажет ететін өнеркәсіптік қолданбаларда сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді. Оған қоса, оның негізгі тегіс бағыты құрылғыны жасау кезінде дәл туралауға көмектеседі, өндіріс тиімділігін және өнімнің үйлесімділігін арттырады.
N-типті SiC композиттік субстраттардың артықшылықтары мыналарды қамтиды
- Жоғары жылу өткізгіштік: P-типті SiC пластиналары жылуды тиімді түрде таратады, бұл оларды жоғары температуралық қолданбалар үшін өте қолайлы етеді.
- Жоғары бұзылу кернеуі: Жоғары кернеулерге төтеп беруге қабілетті, күштік электроникада және жоғары вольтты құрылғыларда сенімділікті қамтамасыз етеді.
- Қатты орталарға төзімділік: Жоғары температура және коррозиялық орта сияқты төтенше жағдайларда тамаша төзімділік.
- Қуатты тиімді түрлендіру: P-тәрізді қоспалау қуатты тиімді өңдеуді жеңілдетеді, бұл пластинаны энергияны түрлендіру жүйелеріне жарамды етеді.
- Бастапқы тегіс бағдарлау: Өндіріс кезінде дәл туралауды қамтамасыз етеді, құрылғының дәлдігі мен дәйектілігін жақсартады.
- Жұқа құрылым (350 мкм): Вафлидің оңтайлы қалыңдығы кеңейтілген, кеңістігі шектеулі электронды құрылғыларға біріктіруді қолдайды.
Жалпы алғанда, P-типті SiC пластинасы, 4H/6H-P 3C-N, оны өнеркәсіптік және электронды қолданбалар үшін өте қолайлы ететін бірқатар артықшылықтарды ұсынады. Оның жоғары жылу өткізгіштігі мен бұзылу кернеуі жоғары температура мен жоғары вольтты орталарда сенімді жұмыс істеуге мүмкіндік береді, ал қатал жағдайларға төзімділігі беріктікті қамтамасыз етеді. P-типті допинг қуатты тиімді түрлендіруге мүмкіндік береді, бұл оны қуат электроникасы мен энергетикалық жүйелер үшін өте қолайлы етеді. Сонымен қатар, пластинаның негізгі тегіс бағыты өндіріс процесінде дәл туралауды қамтамасыз етіп, өндірістің үйлесімділігін арттырады. Қалыңдығы 350 мкм, ол озық, ықшам құрылғыларға біріктіру үшін өте қолайлы.