SiC субстрат P-түрі 4H/6H-P 3C-N 4 дюйм, қалыңдығы 350 м.

Қысқаша сипаттама:

Қалыңдығы 350 мкм болатын P-типті 4H/6H-P 3C-N 4 дюймдік SiC субстраты электронды құрылғылар өндірісінде кеңінен қолданылатын жоғары өнімді жартылай өткізгіш материал болып табылады. Ерекше жылу өткізгіштігімен, жоғары бұзылу кернеуімен және экстремалды температура мен коррозиялық ортаға төзімділігімен танымал, бұл субстрат қуат электроникасын қолдану үшін өте қолайлы. Өндірістік деңгейдегі субстрат кеңейтілген электронды құрылғыларда қатаң сапаны бақылауды және жоғары сенімділікті қамтамасыз ететін кең ауқымды өндірісте қолданылады. Сонымен қатар, жалған дәрежелі субстрат негізінен процесті жөндеу, жабдықты калибрлеу және прототиптеу үшін қолданылады. SiC жоғары қасиеттері оны жоғары температурада, жоғары вольтты және жоғары жиілікті ортада жұмыс істейтін құрылғылар үшін, соның ішінде қуат құрылғылары мен РЖ жүйелері үшін тамаша таңдау жасайды.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

4 дюймдік SiC субстраты P-түрі 4H/6H-P 3C-N параметрлер кестесі

4 дюймдік диаметрі кремнийКарбидті (SiC) субстрат Техникалық сипаттама

Баға			Нөлдік MPD өндірісі Сынып (З Бағасы)	Стандартты өндіріс Сынып (П Бағасы)	Жалған баға (D Бағасы)
Диаметрі			99,5 мм~100,0 мм
Қалыңдығы			350 мкм ± 25 мкм
Вафельді бағдарлау			Өшіру осі: 2,0°-4,0° [112(-)0] 4H/6H- үшін ± 0,5°P, On осі:〈111〉± 0,5° 3C-N үшін
Микроқұбырдың тығыздығы			0 см-2
Қарсылық	p-түрі 4H/6H-P		≤0,1 Ωꞏсм		≤0,3 Ωꞏсм
	n-түрі 3C-N		≤0,8 мΩꞏсм		≤1 м Ωꞏсм
Бастапқы тегіс бағдарлау		4H/6H-P	- {1010} ± 5,0°
		3C-N	- {110} ± 5,0°
Негізгі жазық ұзындық			32,5 мм ± 2,0 мм
Қосымша жазық ұзындық			18,0 мм ± 2,0 мм
Қосымша жазық бағдарлау			Кремний беті жоғары: 90° CW. Prime flat-тен±5,0°
Жиектерді алып тастау			3 мм		6 мм
LTV/TTV/Садақ /Бүйірлік			≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм		≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм
Кедір-бұдыр			Поляк Ra≤1 нм
			CMP Ra≤0,2 нм		Ra≤0,5 нм
Жоғары қарқынды жарықтың әсерінен жиектердің жарықтары			Жоқ		Жиынтық ұзындығы ≤ 10 мм, бір ұзындық≤2 мм
Жоғары қарқынды жарық арқылы алты қырлы тақталар			Жиынтық ауданы ≤0,05%		Жиынтық ауданы ≤0,1%
Жоғары қарқынды жарықпен политипті аймақтар			Жоқ		Жиынтық ауданы≤3%
Көрнекі көміртек қосындылары			Жиынтық ауданы ≤0,05%		Жиынтық ауданы ≤3%
Жоғары қарқынды жарықпен кремний беті сызаттар			Жоқ		Жиынтық ұзындық≤1×вафли диаметрі
Жарық қарқындылығы бойынша жоғары жиектер чиптері			Ешқайсысы ≥0,2 мм ені мен тереңдігіне рұқсат етілмейді		5 рұқсат етілген, әрқайсысы ≤1 мм
Кремний бетінің жоғары қарқындылықпен ластануы			Жоқ
Қаптама			Көп вафельді кассета немесе жалғыз вафельді контейнер

Ескертулер:

※Ақаулық шектеулері шеткі аймақтан басқа пластинаның бүкіл бетіне қолданылады. # Сызықтарды тек Si бетінде тексеру керек.

Қалыңдығы 350 мкм P-түрі 4H/6H-P 3C-N 4 дюймдік SiC субстраты озық электронды және қуатты құрылғылар өндірісінде кеңінен қолданылады. Тамаша жылу өткізгіштігімен, жоғары бұзылу кернеуімен және төтенше орталарға күшті қарсылықпен бұл субстрат жоғары вольтты ажыратқыштар, инверторлар және РЖ құрылғылары сияқты өнімділігі жоғары қуат электроникасы үшін өте қолайлы. Өндірістік деңгейдегі субстраттар қуатты электроника мен жоғары жиілікті қолданбалар үшін маңызды болып табылатын сенімді, жоғары дәлдіктегі құрылғы өнімділігін қамтамасыз ететін ауқымды өндірісте қолданылады. Екінші жағынан, жартылай өткізгіштер өндірісінде сапаны бақылауды және процестің дәйектілігін сақтауға көмектесетін күмбезді субстраттар негізінен процесті калибрлеу, жабдықты сынау және прототипті әзірлеу үшін қолданылады.

Спецификация N-типті SiC композиттік субстраттардың артықшылықтарына жатады

Жоғары жылу өткізгіштік: Тиімді жылу диссипациясы субстратты жоғары температура және жоғары қуатты қолданбалар үшін тамаша етеді.
Жоғары бұзылу кернеуі: Қуат электроникасы мен РЖ құрылғыларындағы сенімділікті қамтамасыз ететін жоғары вольтты жұмысты қолдайды.
Қатты орталарға төзімділік: Жоғары температура және коррозиялық орта сияқты экстремалды жағдайларда төзімді, ұзақ жұмыс істеуді қамтамасыз етеді.
Өндірістік дәрежедегі дәлдік: Кең ауқымды өндірісте жоғары сапалы және сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді, жетілдірілген қуат пен РЖ қолданбаларына жарамды.
Тестілеу үшін жалған баға: Өндіріс деңгейіндегі пластиналарды бұзбай дәл процесті калибрлеуге, жабдықты сынауға және прототип жасауға мүмкіндік береді.

Жалпы алғанда, P-типті 4H/6H-P 3C-N 4 дюймдік қалыңдығы 350 мкм SiC субстраты өнімділігі жоғары электрондық қолданбалар үшін маңызды артықшылықтарды ұсынады. Оның жоғары жылу өткізгіштігі мен бұзылу кернеуі оны жоғары қуатты және жоғары температуралық орталар үшін өте қолайлы етеді, ал қатал жағдайларға төзімділігі беріктік пен сенімділікті қамтамасыз етеді. Өндірістік деңгейдегі субстрат қуатты электрониканы және РЖ құрылғыларын ауқымды өндірісте дәл және дәйекті өнімділікті қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, жартылай өткізгіштер өндірісіндегі сапаны бақылауды және жүйелілікті қолдайтын, процесті калибрлеу, жабдықты сынау және прототиптеу үшін манекенді субстрат өте маңызды. Бұл мүмкіндіктер SiC субстраттарын кеңейтілген қолданбалар үшін өте әмбебап етеді.