Сапфирдегі 100 мм 4 дюймдік GaN эпи-қабатты вафли Галлий нитриді эпитаксиалды вафли

(1) Жоғары температурада пісіру, сапфир субстраты алдымен сутегі атмосферасында 1050 ℃ дейін қызады, мақсаты субстрат бетін тазалау;

(2) Субстрат температурасы 510℃ дейін төмендеген кезде сапфир субстратының бетіне қалыңдығы 30 нм болатын төмен температуралы GaN/AlN буферлік қабаты қойылады;

(3) Температура 10 ℃ дейін көтеріледі, реакция газы аммиак, триметилгалий және силан енгізіледі, сәйкес ағынның жылдамдығын бақылайды және қалыңдығы 4um болатын кремний қосылған N-типті GaN өсіріледі;

(4) триметил алюминийі мен триметил галлийдің реакция газы кремний қосылған N-типті A⒑ континенттерінің қалыңдығы 0,15um дайындау үшін пайдаланылды;

(5) 50 нм Zn қоспасы бар InGaN триметилгалий, триметилиндий, диэтилцинк және аммиакты 8O0℃ температурада енгізу және сәйкесінше әртүрлі ағын жылдамдығын бақылау арқылы дайындалды;

(6) Температура 1020℃ дейін көтерілді, триметилалюминий, триметилгалий және бис (циклопентадиенил) магний 0,15um Mg P-типті AlGaN және 0,5um Mg қоспаланған P-типті G қан глюкозасын дайындау үшін енгізілді;

(7) жоғары сапалы P-типті GaN Sibuyan пленкасы азот атмосферасында 700 ℃ температурада жасыту арқылы алынды;

(8) N-типті G тоқырау бетін ашу үшін P-типті G тоқырау бетінде ою;

(9) p-GaNI бетіндегі Ni/Au жанасу пластиналарының булануы, электродтарды қалыптастыру үшін ll-GaN бетіндегі △/Al жанасу тақталарының булануы.