12 дюймдік толық автоматты дәл кесу арасы жабдығы Si/SiC және HBM (Al) үшін арнайы кесу жүйесі

Қысқаша сипаттама:

Толығымен автоматты дәлдікпен кесу жабдығы - жартылай өткізгіштер мен электрондық компоненттер өнеркәсібі үшін арнайы жасалған жоғары дәлдіктегі кесу жүйесі. Ол микрон деңгейіндегі өңдеу дәлдігіне қол жеткізу үшін озық қозғалысты басқару технологиясын және интеллектуалды визуалды позициялауды қамтиды. Бұл жабдық әртүрлі қатты және сынғыш материалдарды, соның ішінде мыналарды дәл кесуге жарамды:
1. Жартылай өткізгіш материалдар: кремний (Si), кремний карбиді (SiC), галлий арсениді (GaAs), литий танталаты/литий ниобаты (LT/LN) субстраттары және т.б.
2. Қаптама материалдары: керамикалық негіздер, QFN/DFN жақтаулары, BGA қаптама негіздері.
3. Функционалды құрылғылар: Беттік акустикалық толқын (SAW) сүзгілері, термоэлектрлік салқындату модульдері, WLCSP пластиналары.

XKH жабдықтардың тұтынушылардың өндірістік қажеттіліктеріне толық сәйкес келетініне көз жеткізу үшін материалдардың үйлесімділігін тексеру және процесті теңшеу қызметтерін ұсынады, ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыс үлгілері мен партиялық өңдеу үшін оңтайлы шешімдер ұсынады.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Техникалық параметрлер

Параметр	Техникалық сипаттама
Жұмыс өлшемі	Φ8", Φ12"
Шпиндель	Қос осьті 1.2/1.8/2.4/3.0, макс. 60000 айн/мин
Қалақша өлшемі	2" ~ 3"
Y1 / Y2 осі	Бір сатылы қадам: 0,0001 мм
	Орналастыру дәлдігі: <0,002 мм
	Кесу қашықтығы: 310 мм
X осі	Беру жылдамдығының диапазоны: 0,1–600 мм/с
Z1 / Z2 осі	Бір сатылы қадам: 0,0001 мм
Z1 / Z2 осі	Орналастыру дәлдігі: ≤ 0,001 мм
θ осі	Орналастыру дәлдігі: ±15"
Тазалау станциясы	Айналу жылдамдығы: 100–3000 айн/мин
Тазалау станциясы	Тазалау әдісі: Автоматты түрде шаю және сығу арқылы кептіру
Жұмыс кернеуі	3 фазалы 380В 50Гц
Өлшемдері (Е×Т×Б)	1550×1255×1880 мм
Салмақ	2100 кг

Жұмыс принципі

Жабдық келесі технологияларды қолдану арқылы жоғары дәлдіктегі кесуге қол жеткізеді:
1. Жоғары қаттылықтағы шпиндель жүйесі: Айналу жылдамдығы 60 000 айн/мин дейін, әртүрлі материалдық қасиеттерге бейімделу үшін алмас жүздермен немесе лазерлік кесу бастарымен жабдықталған.

2. Көп осьті қозғалысты басқару: ±1 мкм X/Y/Z осьтік позициялау дәлдігі, ауытқусыз кесу жолдарын қамтамасыз ету үшін жоғары дәлдіктегі торлы шкалалармен жұптастырылған.

3. Ақылды визуалды туралау: Жоғары ажыратымдылықтағы CCD (5 мегапиксель) көшелердің қиылысуын автоматты түрде таниды және материалдың деформациясын немесе тураланбауын өтейді.

4. Салқындату және шаңды кетіру: Термиялық әсерді және бөлшектердің ластануын азайту үшін кіріктірілген таза сумен салқындату жүйесі және вакуумды сору арқылы шаңды кетіру.

Кесу режимдері

1. Жүзді кесу: Si және GaAs сияқты дәстүрлі жартылай өткізгіш материалдарға жарамды, кесу ені 50–100 мкм.

2. Жасырын лазерлік кесу: ультра жұқа пластиналар (<100 мкм) немесе сынғыш материалдар (мысалы, LT/LN) үшін қолданылады, бұл кернеусіз бөлуді қамтамасыз етеді.

Әдеттегі қолданбалар

Үйлесімді материал	Қолдану өрісі	Өңдеу талаптары
Кремний (Si)	Интегралдық микросхемалар, MEMS сенсорлары	Жоғары дәлдіктегі кесу, ұсақтау <10 мкм
Кремний карбиді (SiC)	Қуат құрылғылары (MOSFET/диодтар)	Аз зиян келтіретін кесу, термиялық басқаруды оңтайландыру
Галлий арсениді (GaAs)	РФ құрылғылары, оптоэлектронды чиптер	Микрожарықтардың алдын алу, тазалықты бақылау
LT/LN субстраттары	SAW сүзгілері, оптикалық модуляторлар	Пьезоэлектрлік қасиеттерді сақтай отырып, кернеусіз кесу
Керамикалық негіздер	Қуат модульдері, жарықдиодты қаптама	Жоғары қаттылықтағы материалды өңдеу, жиектердің тегістігі
QFN/DFN жақтаулары	Кеңейтілген қаптама	Көп чипті бір мезгілде кесу, тиімділікті оңтайландыру
WLCSP вафлилері	Вафли деңгейіндегі қаптама	Өте жұқа пластиналарды (50 мкм) зақымдамай турау

Артықшылықтары

1. Соқтығысудан қорғау дабылы, жылдам тасымалдау позициясы және қателерді түзету мүмкіндігі бар жоғары жылдамдықты кассета кадрын сканерлеу.

2. Бір шпиндельді жүйелермен салыстырғанда тиімділікті шамамен 80%-ға арттыратын қос шпиндельді кесу режимін оңтайландырды.

3. Дәл импортталған шарлы бұрандалар, сызықтық бағыттаушылар және Y-осьті тор масштабының тұйықталған циклді басқаруы, жоғары дәлдіктегі өңдеудің ұзақ мерзімді тұрақтылығын қамтамасыз етеді.

4. Толығымен автоматтандырылған тиеу/түсіру, тасымалдауды орналастыру, туралауды кесу және бұрылысты тексеру, оператордың (OP) жұмыс жүктемесін айтарлықтай азайтады.

5. Қос шпиндельді кесу процестеріне кеңірек бейімделуді қамтамасыз ететін, кемінде 24 мм қос жүзді аралығы бар гантри стиліндегі шпиндельді бекіту құрылымы.

Ерекше өзгешеліктері

1. Байланыссыз биіктікті жоғары дәлдікпен өлшеу.

2. Бір науада көп пластиналы қос жүзді кесу.

3. Автоматты калибрлеу, бұрылысты тексеру және пышақтың сынуын анықтау жүйелері.

4. Таңдауға болатын автоматты туралау алгоритмдері бар әртүрлі процестерді қолдайды.

5. Ақаулықтарды өздігінен түзету функциясы және нақты уақыт режимінде көп позициялы мониторинг.

6. Алғашқы кесуден кейін бірінші кесуді тексеру мүмкіндігі.

7. Зауыттық автоматтандыру модульдерін және басқа да қосымша функцияларды теңшеуге болады.

Үйлесімді материалдар

Жабдық қызметтері

Біз жабдықты таңдаудан бастап ұзақ мерзімді техникалық қызмет көрсетуге дейін кешенді қолдау көрсетеміз:

(1) Жекешелендірілген әзірлеу
· Материалдың қасиеттеріне (мысалы, SiC қаттылығы, GaAs сынғыштығы) негізделген пышақ/лазерлік кесу шешімдерін ұсыныңыз.

· Кесу сапасын тексеру үшін тегін үлгі сынағын ұсыныңыз (жақпау, кесінді ені, бетінің кедір-бұдырлығы және т.б.).

(2) Техникалық оқыту
· Негізгі дайындық: Жабдықты пайдалану, параметрлерді реттеу, күнделікті техникалық қызмет көрсету.
· Жетілдірілген курстар: Күрделі материалдарға арналған процесті оңтайландыру (мысалы, LT негіздерін кернеусіз кесу).

(3) Сатудан кейінгі қолдау
· Тәулік бойы жауап беру: Қашықтан диагностика немесе жергілікті жерде көмек.
· Қосалқы бөлшектерді жеткізу: Жылдам ауыстыру үшін қорда бар шпиндельдер, пышақ және оптикалық компоненттер.
· Алдын алу жұмыстары: Дәлдікті сақтау және қызмет ету мерзімін ұзарту үшін үнемі калибрлеу.

Біздің артықшылықтарымыз

✔ Сала тәжірибесі: 300-ден астам әлемдік жартылай өткізгіштер мен электроника өндірушілеріне қызмет көрсетеді.
✔ Заманауи технологиялар: Дәл сызықтық бағыттаушылар мен серво жүйелер салалық жетекші тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
✔ Жаһандық қызмет көрсету желісі: Жергілікті қолдау үшін Азияда, Еуропада және Солтүстік Америкада қамту.
Сынақ немесе сұрақтар бойынша бізбен хабарласыңыз!