Толығымен автоматты түрде пластина сақинасын кесу жабдығы Жұмыс өлшемі 8 дюйм/12 дюйм пластина сақинасын кесу

Толығымен автоматты пластина сақинасын кесу жабдығы Жұмыс өлшемі 8 дюйм/12 дюйм пластина сақинасын кесу Ұсынылған сурет

Қысқаша сипаттама:

XKH компаниясы алдыңғы жартылай өткізгіш өндіріс процестеріне арналған озық шешім болып табылатын толықтай автоматты пластина жиектерін кесу жүйесін өз бетінше әзірледі. Бұл жабдық инновациялық көп осьті синхронды басқару технологиясын қамтиды және жоғары қаттылықтағы шпиндельді жүйемен (максималды айналу жылдамдығы: 60 000 айн/мин) ерекшеленеді, бұл ±5 мкм дейінгі кесу дәлдігімен жиектерді кесуді қамтамасыз етеді. Жүйе әртүрлі жартылай өткізгіш субстраттармен тамаша үйлесімділікті көрсетеді, соның ішінде:
1. Кремнийлі пластиналар (Si): 8-12 дюймдік пластиналардың жиектерін өңдеуге жарамды;
2. Қосылыс жартылай өткізгіштер: GaAs және SiC сияқты үшінші буын жартылай өткізгіш материалдары;
3. Арнайы негіздер: LT/LN қоса алғанда, пьезоэлектрлік материалдан жасалған пластиналар;

Модульдік дизайн гауһар пышақтарды және лазерлік кесу бастарын қоса алғанда, бірнеше шығын материалдарын тез ауыстыруды қолдайды, үйлесімділігі салалық стандарттардан асып түседі. Мамандандырылған технологиялық талаптар үшін біз келесілерді қамтитын кешенді шешімдерді ұсынамыз:
· Арнайы кесу материалдарын жеткізу
· Тапсырыс бойынша өңдеу қызметтері
· Процесс параметрлерін оңтайландыру шешімдері

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Техникалық параметрлер

Параметр	Бірлік	Техникалық сипаттама
Дайындаманың максималды өлшемі	mm	ø12"
Шпиндель	Конфигурация	Бір шпиндельді
	Жылдамдық	3000–60 000 айн/мин
	Шығыс қуаты	30 000 мин⁻¹ кезінде 1,8 кВт (2,4 қосымша)
	Max Blade Dia.	Ø58 мм
X осі	Кесу қашықтығы	310 мм
Y осі	Кесу қашықтығы	310 мм
	Қадамды арттыру	0,0001 мм
	Орналастыру дәлдігі	≤0,003 мм/310 мм, ≤0,002 мм/5 мм (бір қателік)
Z осі	Қозғалыс шешімі	0,00005 мм
Z осі	Қайталанымдылық	0,001 мм
θ осі	Максималды айналу	380 градус
Шпиндель түрі		Сақиналы кесуге арналған қатты пышақпен жабдықталған бір шпиндельді
Сақина кесу дәлдігі	мкм	±50
Вафлиді орналастыру дәлдігі	мкм	±50
Бір пластиналы тиімділік	мин/вафли	8
Көп қабатты пластина тиімділігі		Бір уақытта 4 пластинаға дейін өңделеді
Жабдықтың салмағы	kg	≈3,200
Жабдықтың өлшемдері (Е×Т×Б)	mm	2730 × 1550 × 2070

Жұмыс принципі

Жүйе келесі негізгі технологиялар арқылы ерекше кесу өнімділігіне қол жеткізеді:

1. Ақылды қозғалысты басқару жүйесі:
· Жоғары дәлдіктегі сызықтық қозғалтқыш жетегі (қайталанатын позициялау дәлдігі: ±0,5 мкм)
· Күрделі траекторияны жоспарлауды қолдайтын алты осьті синхронды басқару
· Кесу тұрақтылығын қамтамасыз ететін нақты уақыт режиміндегі дірілді басу алгоритмдері

2. Кеңейтілген анықтау жүйесі:
· Кіріктірілген 3D лазерлік биіктік сенсоры (дәлдігі: 0,1 мкм)
· Жоғары ажыратымдылықтағы CCD визуалды орналасуы (5 мегапиксель)
· Онлайн сапа тексеру модулі

3. Толық автоматтандырылған процесс:
· Автоматты түрде тиеу/түсіру (FOUP стандартты интерфейсімен үйлесімді)
· Ақылды сұрыптау жүйесі
· Тұйықталған циклды тазалау блогы (тазалық: 10-сынып)

Әдеттегі қолданбалар

Бұл жабдық жартылай өткізгіш өндірісінде айтарлықтай құндылық береді:

Қолдану өрісі	Процесс материалдары	Техникалық артықшылықтар
Интегралдық интегралдық өндіріс	8/12 дюймдік кремний пластиналары	Литографияның туралануын жақсартады
Қуат құрылғылары	SiC/GaN пластиналары	Шеткі ақаулардың алдын алады
MEMS сенсорлары	SOI вафлилері	Құрылғының сенімділігін қамтамасыз етеді
Радиожиілік құрылғылары	GaAs пластиналары	Жоғары жиілікті өнімділікті жақсартады
Кеңейтілген қаптама	Қалпына келтірілген вафлилер	Қаптама өнімділігін арттырады

Ерекше өзгешеліктері

1. Жоғары өңдеу тиімділігі үшін төрт станциялы конфигурация;
2. TAIKO сақинасын тұрақты түрде ажырату және алып тастау;
3. Негізгі шығын материалдарымен жоғары үйлесімділік;
4. Көп осьті синхронды кесу технологиясы шеттерін кесудің дәлдігін қамтамасыз етеді;
5. Толық автоматтандырылған процесс ағыны еңбек шығындарын айтарлықтай азайтады;
6. Арнайы жұмыс үстелінің дизайны арнайы құрылымдарды тұрақты өңдеуге мүмкіндік береді;

Функциялар

1. Сақинаның түсіп кетуін анықтау жүйесі;
2. Жұмыс үстелін автоматты түрде тазалау;
3. Интеллектуалды ультракүлгін сәулеленуді жою жүйесі;
4. Операция журналын жазу;
5. Зауыттық автоматтандыру модулін интеграциялау;

Қызмет көрсету міндеттемесі

XKH өндірістік сапарыңыз бойы жабдықтың өнімділігі мен пайдалану тиімділігін барынша арттыруға арналған кешенді, толық өмірлік циклді қолдау қызметтерін ұсынады.
1. Теңшеу қызметтері
· Жабдықтың бейімделген конфигурациясы: Біздің инженерлік тобымыз нақты материалдық қасиеттерге (Si/SiC/GaAs) және технологиялық талаптарға негізделген жүйелік параметрлерді (кесу жылдамдығы, пышақ таңдау және т.б.) оңтайландыру үшін клиенттермен тығыз ынтымақтастықта жұмыс істейді.
· Процесті әзірлеуді қолдау: Біз жиектердің кедір-бұдырлығын өлшеу және ақауларды картаға түсіруді қоса алғанда, егжей-тегжейлі талдау есептерімен үлгілерді өңдеуді ұсынамыз.
· Шығын материалдарын бірлесіп әзірлеу: Жаңа материалдар (мысалы, Ga₂O₃) үшін біз қолданбаға арналған пышақтарды/лазерлік оптиканы әзірлеу үшін жетекші тұтынылатын материалдар өндірушілерімен серіктестік орнатамыз.

2. Кәсіби техникалық қолдау
· Арнайы жергілікті қолдау: Сертификатталған инженерлерді маңызды кезеңдерге (әдетте 2-4 апта) тағайындаңыз, ол мыналарды қамтиды:
Жабдықты калибрлеу және процесті дәл баптау
Оператордың құзыреттілігін оқыту
ISO 5 класындағы таза бөлмені біріктіру бойынша нұсқаулық
· Болжамды техникалық қызмет көрсету: Жоспарланбаған тоқтап қалудың алдын алу үшін діріл талдауы және серво қозғалтқыш диагностикасы арқылы тоқсан сайынғы денсаулықты тексеру.
· Қашықтан бақылау: Автоматтандырылған аномалия туралы ескертулермен біздің IoT платформамыз (JCFront Connect®) арқылы жабдықтың жұмысын нақты уақыт режимінде бақылау.

3. Қосымша құнды қызметтер
· Процесс туралы білім базасы: Әр түрлі материалдарға арналған 300-ден астам тексерілген кесу рецептеріне қол жеткізіңіз (тоқсан сайын жаңартылып отырады).
· Технологиялық жол картасын үйлестіру: Аппараттық/бағдарламалық жасақтаманы жаңарту жолдарымен (мысалы, жасанды интеллект негізіндегі ақауларды анықтау модулі) инвестицияларыңызды болашақта қамтамасыз етіңіз.
· Төтенше жағдайларға жауап беру: 4 сағаттық қашықтықтан диагностика және 48 сағаттық жергілікті араласу кепілдендірілген (әлемдік қамту).

4. Қызмет көрсету инфрақұрылымы
· Өнімділік кепілдігі: SLA қолдауымен жауап беру уақытымен жабдықтың ≥98% жұмыс уақытына келісімшарттық міндеттеме.

Үздіксіз жетілдіру

Біз жыл сайын екі рет тұтынушылардың қанағаттанушылығы бойынша сауалнамалар жүргіземіз және қызмет көрсетуді жақсарту үшін Кайдзен бастамаларын енгіземіз. Біздің ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыстар тобымыз салалық түсініктерді жабдықты жаңартуға айналдырады - микробағдарламалық жасақтаманы жақсартудың 30%-ы тұтынушылардың пікірлерінен туындайды.