Толығымен автоматты вафельді сақина кесетін жабдықтың жұмыс өлшемі 8 дюйм/12 дюймдік вафельді сақинаны кесу

Толық автоматты вафельді сақина кесетін жабдық Жұмыс өлшемі 8 дюйм/12 дюймдік вафли сақинасын кесу Таңдаулы сурет

Қысқаша сипаттама:

XKH жартылай өткізгішті өндіру процестеріне арналған жетілдірілген шешімді білдіретін толығымен автоматты пластинаның жиектерін кесу жүйесін дербес әзірледі. Бұл жабдық көп осьті синхронды басқарудың инновациялық технологиясын біріктіреді және ±5 мкм-ге дейінгі кесу дәлдігімен жиекті дәл кесуді қамтамасыз ететін жоғары қаттылық шпиндель жүйесімен (ең үлкен айналу жылдамдығы: 60 000 RPM) ерекшеленеді. Жүйе әртүрлі жартылай өткізгіш субстраттармен тамаша үйлесімділікті көрсетеді, соның ішінде, бірақ олармен шектелмей:
1.Кремний пластиналары (Si): 8-12 дюймдік пластинаның жиегін өңдеуге жарамды；
2. Құрама жартылай өткізгіштер: GaAs және SiC сияқты үшінші буын жартылай өткізгіш материалдар；
3.Арнайы субстраттар: LT/LN қоса алғанда пьезоэлектрлік материалдан жасалған пластиналар；

Модульдік дизайн өнеркәсіп стандарттарынан асатын үйлесімділікпен алмас жүздері мен лазерлік кескіш бастарды қоса, бірнеше шығын материалдарын жылдам ауыстыруды қолдайды. Арнайы процесс талаптары үшін біз мыналарды қамтитын кешенді шешімдерді ұсынамыз:
· Арнайы кесетін шығын материалдарын жеткізу
· Арнайы өңдеу қызметтері
· Процесс параметрлерін оңтайландыру шешімдері

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Техникалық параметрлер

Параметр	Бірлік	Техникалық сипаттама
Дайындаманың максималды өлшемі	mm	ø12"
Шпиндель	Конфигурация	Бір шпиндель
	Жылдамдық	3000–60 000 айн/мин
	Шығу қуаты	30 000 мин⁻¹ кезінде 1,8 кВт (2,4 міндетті емес).
	Максималды жүздің диаметрі.	Ø58 мм
X осі	Кесу ауқымы	310 мм
Y осі	Кесу ауқымы	310 мм
	Қадамды арттыру	0,0001 мм
	Орналастыру дәлдігі	≤0,003 мм/310 мм, ≤0,002 мм/5 мм (бір қате)
Z осі	Қозғалыс рұқсаты	0,00005 мм
Z осі	Қайталану мүмкіндігі	0,001 мм
θ-ось	Максималды айналу	380 градус
Шпиндель түрі		Бір шпиндель, сақина кесуге арналған қатты пышақпен жабдықталған
Сақинаны кесу дәлдігі	мкм	±50
Вафельді орналастыру дәлдігі	мкм	±50
Бір вафельді тиімділік	мин/вафли	8
Көп вафельді тиімділік		Бір уақытта өңделген 4 вафлиге дейін
Жабдықтың салмағы	kg	≈3,200
Жабдық өлшемдері (W×D×H)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

Жұмыс принципі

Жүйе осы негізгі технологиялар арқылы ерекше кесу өнімділігіне қол жеткізеді:

1. Интеллектуалды қозғалысты басқару жүйесі:
· Жоғары дәлдіктегі сызықты қозғалтқыш жетегі (қайталаудың дәлдігі: ±0,5 мкм)
· Күрделі траекторияны жоспарлауды қолдайтын алты осьті синхронды басқару
· Кесу тұрақтылығын қамтамасыз ететін нақты уақыттағы дірілді басу алгоритмдері

2. Жетілдірілген анықтау жүйесі:
· Біріктірілген 3D лазерлік биіктік сенсоры (дәлдік: 0,1 мкм)
· Жоғары ажыратымдылықтағы CCD визуалды позициялау (5 мегапиксель)
· Сапаны онлайн тексеру модулі

3. Толық автоматтандырылған процесс:
· Автоматты жүктеу/түсіру (FOUP стандартты интерфейсімен үйлесімді)
· Интеллектуалды сұрыптау жүйесі
· Жабық циклді тазалау құрылғысы (тазалық: 10-сынып)

Типтік қолданбалар

Бұл жабдық жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбаларында маңызды мән береді:

Қолданба өрісі	Процесс материалдары	Техникалық артықшылықтар
IC өндірісі	8/12 дюймдік кремний пластиналары	Литографияны туралауды жақсартады
Қуат құрылғылары	SiC/GaN вафлилері	Жиектер ақауларының алдын алады
MEMS сенсорлары	SOI вафлилері	Құрылғының сенімділігін қамтамасыз етеді
РЖ құрылғылары	GaAs вафельдері	Жоғары жиілікті өнімділікті жақсартады
Жетілдірілген қаптама	Қалпына келтірілген вафлилер	Қаптаманың өнімділігін арттырады

Ерекше өзгешеліктері

1. Жоғары өңдеу тиімділігі үшін төрт станциялық конфигурация;
2. Тұрақты TAIKO сақинасын ажырату және жою；
3. Негізгі шығын материалдарымен жоғары үйлесімділік；
4.Көп осьті синхронды кесу технологиясы жиектердің дәл кесілуін қамтамасыз етеді；
5. Толық автоматтандырылған процесс ағыны еңбек шығындарын айтарлықтай төмендетеді；
6.Таңдамалы жұмыс үстелінің дизайны арнайы құрылымдарды тұрақты өңдеуге мүмкіндік береді；

Функциялар

1.Сақина түсуін анықтау жүйесі；
2. Жұмыс үстелін автоматты түрде тазалау;
3. Ультракүлгін сәулені ажырататын интеллектуалды жүйе;
4.Операция журналын жазу；
5.Зауыттық автоматтандыру модулін біріктіру；

Қызмет көрсету міндеттемесі

XKH бүкіл өндірістік сапарыңызда жабдық өнімділігін және операциялық тиімділігін арттыруға арналған жан-жақты, толық өмірлік циклді қолдау қызметтерін ұсынады.
1. Теңшеу қызметтері
· Арнайы жабдық конфигурациясы: Біздің инженерлік команда арнайы материал қасиеттеріне (Si/SiC/GaAs) және технологиялық талаптарға негізделген жүйе параметрлерін (кесу жылдамдығы, қалақтарды таңдау және т.б.) оңтайландыру үшін клиенттермен тығыз жұмыс істейді.
· Процесті әзірлеуді қолдау: Біз егжей-тегжейлі талдау есептері бар үлгіні өңдеуді ұсынамыз, соның ішінде жиектердің кедір-бұдырлығын өлшеу және ақауларды карталау.
· Шығын материалдарын бірлесіп әзірлеу: Жаңа материалдар (мысалы, Ga₂O₃) үшін біз қолданбалы пышақтарды/лазер оптикасын әзірлеу үшін жетекші шығын материалдарын өндірушілермен серіктестік.

2. Кәсіби техникалық қолдау
· Арнайы сайттағы қолдау: келесілерді қамтитын маңызды кезеңдерге (әдетте 2-4 апта) сертификатталған инженерлерді тағайындаңыз:
Жабдықты калибрлеу және процесті дәл баптау
Оператордың біліктілігін арттыру
ISO 5-сынып таза бөлмені біріктіру жөніндегі нұсқаулық
· Болжалды техникалық қызмет көрсету: жоспарланбаған тоқтап қалудың алдын алу үшін дірілді талдау және сервомотор диагностикасы арқылы тоқсан сайынғы денсаулықты тексеру.
· Қашықтан бақылау: автоматтандырылған аномалия ескертулері бар IoT платформасы (JCFront Connect®) арқылы нақты уақыттағы жабдық өнімділігін бақылау.

3. Қосылған құны бар қызметтер
· Процесстік білім қоры: әртүрлі материалдарға арналған 300+ расталған кесу рецепттеріне қол жеткізіңіз (тоқсан сайын жаңартылады).
· Технологияның жол картасын теңестіру: Аппараттық/бағдарламалық құралды жаңарту жолдарымен (мысалы, AI негізіндегі ақауларды анықтау модулі) инвестицияңызды болашаққа дәлелдеңіз.
· Төтенше жағдайға әрекет ету: кепілдендірілген 4 сағаттық қашықтан диагностика және 48 сағаттық орнында араласу (жаһандық қамту).

4. Қызмет көрсету инфрақұрылымы
· Өнімділік кепілдігі: SLA қолдау көрсетілетін жауап уақыттары бар ≥98% жабдықтың жұмыс уақытына келісім-шарт бойынша міндеттеме.

Үздіксіз жетілдіру

Біз жылына екі рет тұтынушылардың қанағаттану сауалнамасын жүргіземіз және қызмет көрсетуді жақсарту үшін Кайзен бастамаларын енгіземіз. Біздің ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыс тобы далалық түсініктерді жабдықты жаңартуға аударады - микробағдарламаны жақсартудың 30% клиенттің кері байланысынан туындайды.