SiC тұқым жабу-байланыстыру-бөлшектеу интеграцияланған шешімі

SiC тұқым жабу-байланыстыру-бүйірлеу интеграцияланған шешімі Ұсынылған сурет

Қысқаша сипаттама:

SiC тұқымдық желімін операторға тәуелді жұмыстан қайталанатын, параметрге негізделген процеске айналдырыңыз: бақыланатын жабысқақ қабаттың қалыңдығы, қауіпсіздік жастықшасын басу арқылы орталықтан туралау, вакуумдық көпіршікті тазарту және температура/қысым бойынша реттелетін көміртектенуді консолидациялау. 6/8/12 дюймдік өндіріс сценарийлері үшін жасалған.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

SiC 晶体生长炉 SiC кристалды өсіретін пеші SiC тұқымды жабу – байланыстыру – агломерациялау біріктірілген ерітінді

SiC 喷胶机 SiC жабын машинасы SiC тұқым жабыны–байланыстыру–бүйірлеу интеграцияланған шешімі

Дәл бүріккіш жабын • Орталық туралауды байланыстыру • Вакуумдық көпіршіктерді жою • Карбонизация/бүйірлемелі консолидация

Өнімге шолу

Бұл не?

Бұл интеграцияланған шешім SiC кристалының өсуінің жоғары сатысына арналған, мұнда тұқым/пластина графит қағазына/графит пластинасына (және онымен байланысты интерфейстерге) бекітіледі. Ол процесс циклін келесі жолдармен жабады:

Қаптау (шашырататын желім) → Желімдеу (туралау + престеу + вакуумдық көпіршіктерді жою) → Пісіру/Көміртектеу (бекіту және қатайту)

Желім түзілуін, көпіршіктерді кетіруді және түпкілікті консолидацияны бір тізбек ретінде басқару арқылы шешім консистенцияны, өндірістік қабілеттілікті және масштабталуды жақсартады.

SiC тұқым жабу-байланыстыру-бүйірлеу интеграцияланған шешімі 1

Конфигурация опциялары

A. Жартылай автоматты желі
SiC бүріккіш жабын машинасы → SiC байланыстырушы машина → SiC пісіру пеші

B. Толығымен автоматты желі
Автоматты бүріккіш жабын және желімдеу машинасы → SiC пісіру пеші
Қосымша интеграциялар: роботтық өңдеу, калибрлеу/туралау, идентификаторды оқу, көпіршікті анықтау

SiC тұқым жабу-байланыстыру-бүйірлеу интеграцияланған шешімі 2

Негізгі артықшылықтар

• Қайталануды жақсарту үшін жабысқақ қабаттың қалыңдығы мен жабыны бақыланады
• Біркелкі байланыс пен қысымның таралуын қамтамасыз ету үшін орталықты туралау және қауіпсіздік жастығын басу
• Жабысқақ қабаттың ішіндегі көпіршіктерді/бостықтарды азайту үшін вакуумды көпіршіктерді кетіру
• Соңғы байланысты тұрақтандыру үшін реттелетін температура/қысым көміртектену консолидациясы
• Тұрақты цикл уақытын, бақылауды және желі ішіндегі сапаны бақылауды автоматтандыру опциялары

Принцип

Неліктен дәстүрлі әдістер қиындық тудырады
Тұқымдық байланыстың өнімділігі әдетте үш байланысты айнымалымен шектеледі:

Жабысқақ қабаттың консистенциясы (қалыңдығы және біркелкілігі)
Көпіршікті/бостықты бақылау (жабысқақ қабатта ауа тұрып қалады)
Қатқылағаннан/көміртектенгеннен кейінгі байланыстан кейінгі тұрақтылық

Қолмен жабу көбінесе қалыңдықтың сәйкессіздігіне, көпіршіктерді кетірудің қиындауына, ішкі қуыстардың пайда болу қаупінің жоғарылауына, графит беттерінің сызылуына және жаппай өндіріс үшін масштабталудың нашарлығына әкеледі.

Айналдыру жабыны желім ағынының мінез-құлқына, беттік керілуге және орталықтан тепкіш күшке байланысты тұрақсыз қалыңдықты тудыруы мүмкін. Сондай-ақ, ол графит қағазында/пластиналарында бүйірлік ластану мен бекіту шектеулеріне тап болуы мүмкін және қатты құрамы бар желімдердің біркелкі жабысуы қиын болуы мүмкін.

SiC тұқым жабу-байланыстыру-бүйірлеу интеграцияланған шешімі 3

Интеграцияланған тәсіл қалай жұмыс істейді

Жабу: Бүріккіш жабын нысана беттерінде (тұқым/пластина, графит қағазы/пластина) бақыланатын жабысқақ қабаттың қалыңдығы мен жабынын түзеді.

Жабыстыру: Орталықты туралау + қауіпсіздік жастықшасын басу тұрақты жанасуды қамтамасыз етеді; вакуумдық көпіршікті тазарту желім қабатындағы ауаның, көпіршіктердің және бос орындардың пайда болуын азайтады.

Пісіру/Көміртектеу: Реттелетін температура мен қысыммен жоғары температурада консолидациялау соңғы байланыстырылған интерфейсті тұрақтандырады, көпіршіксіз және біркелкі престеу нәтижелеріне қол жеткізуге бағытталған.

Анықтамалық өнімділік туралы мәлімдеме
Карбонизациялау байланысының өнімділігі 90%-дан астамға жетуі мүмкін (процесс сілтемесі). Байланыстың типтік өнімділігі сілтемелері «Классикалық жағдайлар» бөлімінде келтірілген.

Процесс

A. Жартылай автоматты жұмыс процесі

1-қадам — Бүріккіш жабын (жабын)
Тұрақты қалыңдық пен біркелкі жабын алу үшін желімді нысаналы беттерге бүріккіш жабын арқылы жағыңыз.

2-қадам — Тегістеу және бекіту (Біріктіру)
Орталықты туралаңыз, қауіпсіздік жастықшасын басыңыз және жабысқақ қабаттағы тұрып қалған ауаны шығару үшін вакуумды көпіршіктерді кетіруді пайдаланыңыз.

3-қадам — Карбонизацияны консолидациялау (Бүйірлеу/Көмірлеу)
Байланыстырылған бөлшектерді күйдіру пешіне ауыстырыңыз және соңғы байланысты тұрақтандыру үшін реттелетін температура мен қысыммен жоғары температуралы көміртектенуді консолидациялаңыз.

B. Толық автоматты жұмыс процесі

Автоматты бүрку және желімдеу машинасы жабу және желімдеу әрекеттерін біріктіреді және роботтық өңдеу мен калибрлеуді қамтуы мүмкін. Желілік опцияларға бақылау және сапаны бақылау үшін идентификаторды оқу және көпіршікті анықтау кіруі мүмкін. Содан кейін бөлшектер көміртекті консолидациялау үшін күйдіру пешіне жіберіледі.

Процесс бағытының икемділігі
Интерфейс материалдарына және қолайлы тәжірибеге байланысты, жүйе бірдей мақсатты сақтай отырып, әртүрлі жабын тізбектерін және бір жақты немесе екі жақты шашырату бағыттарын қолдай алады: тұрақты жабысқақ қабат → тиімді көпіршікті кетіру → біркелкі тығыздау.

SiC тұқым жабу-байланыстыру-бүйірлеу интеграцияланған шешімі 4

Қолданбалар

Негізгі қолданба
SiC кристалының өсуі, тұқымды байланыстыру арқылы жоғары қарай: тұқымды/пластинаны графит қағазына/графит пластинасына және онымен байланысты интерфейстерге байланыстыру, содан кейін көміртектенуді консолидациялау.

Өлшем сценарийлері
Конфигурацияны таңдау және тексерілген процесті бағыттау арқылы 6/8/12 дюймдік байланыстыру қолданбаларын қолдайды.

Әдеттегі сәйкестік көрсеткіштері
• Қолмен жабу қалыңдықтың өзгеруіне, көпіршіктердің/бостықтардың пайда болуына, сызаттардың пайда болуына және тұрақты емес өнімділікке әкеледі
• Графит қағазында/пластиналарында сығу жабынының қалыңдығы тұрақсыз немесе қиын; бүйірлік ластану/бекіту шектеулері бар
• Сізге қайталануы тығыз және операторға тәуелділігі төмен масштабталатын өндіріс қажет
• Сізге автоматтандыру, бақылау және желідегі сапаны бақылау опциялары (ID + көпіршікті анықтау) қажет

Классикалық жағдайлар (әдеттегі нәтижелер)

Ескерту: Төменде типтік анықтамалық деректер / процесс сілтемелері берілген. Нақты өнімділік желім жүйесіне, кіріс материалының жағдайларына, тексерілген процесс терезесіне және тексеру стандарттарына байланысты.

1-жағдай — 6/8 дюймдік тұқымдарды байланыстыру (өнімділік және өнімділік сілтемесі)
Графит пластинасы жоқ: күніне 6 дана/бірлік
Графит пластинасымен: күніне 2,5 дана/бірлік
Байланыс өнімділігі: ≥95%

2-жағдай — 12 дюймдік тұқымдарды байланыстыру (өнімділік және өнімділік туралы анықтама)
Графит пластинасы жоқ: күніне 5 дана/бірлік
Графит пластинасымен: күніне 2 дана/бірлік
Байланыс өнімділігі: ≥95%

3-жағдай — Карбонизацияның консолидациясының кірістілігіне сілтеме
Карбонизация байланысының өнімділігі: 90%+ (процесс сілтемесі)
Мақсатты нәтиже: көпіршіксіз және біркелкі престеу нәтижелері (валидация және тексеру критерийлеріне бағынады)

SiC тұқым жабу-байланыстыру-бүйірлеу интеграцияланған шешімі 5

Жиі қойылатын сұрақтар

1-сұрақ: Бұл шешім қандай негізгі мәселені шешеді?
A: Ол желімнің қалыңдығын/жабылуын, көпіршіктерді кетіру өнімділігін және желімделгеннен кейінгі консолидацияны бақылау арқылы тұқымның байланысын тұрақтандырады, бұл шеберлікке тәуелді қадамды қайталанатын өндіріс процесіне айналдырады.

2-сұрақ: Неліктен қолмен жабу көбінесе көпіршіктердің/бостықтардың пайда болуына әкеледі?
A: Қолмен қолданылатын әдістер қалыңдықты біркелкі ұстап тұруда қиындықтарға тап болады, бұл көпіршіктерді кетіруді қиындатады және ауаның тұрып қалу қаупін арттырады. Олар сондай-ақ графит беттерін сызып тастауы мүмкін және көлем бойынша стандарттау қиын.

С3: Неліктен бұл қолдану үшін айналмалы жабын тұрақсыз болуы мүмкін?
A: Қалыңдығы желім ағынының мінез-құлқына, беттік керілуге және орталықтан тепкіш күшке сезімтал. Графит қағазы/пластина жабыны бекітпе және бүйірлік ластану қаупімен шектелуі мүмкін, ал қатты құрамы бар желімдерді біркелкі сығу қиын болуы мүмкін.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.