Si/SiC және HBM (Al) үшін 12 дюймдік толық автоматты дәлдікпен кесетін ара жабдығы вафли арнайы кесу жүйесі

Қысқаша сипаттама:

Толық автоматты дәлдікпен кесу жабдығы жартылай өткізгіштер мен электронды компоненттер өнеркәсібі үшін арнайы әзірленген жоғары дәлдіктегі кесу жүйесі болып табылады. Ол микрон деңгейіндегі өңдеу дәлдігіне жету үшін озық қозғалысты басқару технологиясын және интеллектуалды визуалды орналасуды қамтиды. Бұл жабдық әртүрлі қатты және сынғыш материалдарды дәл кесуге жарамды, соның ішінде:
1.Жартылай өткізгіш материалдар: кремний (Si), кремний карбиді (SiC), галий арсениді (GaAs), литий танталат/литий ниобаты (LT/LN) субстраттары және т.б.
2. Қаптама материалдары: Керамикалық субстраттар, QFN/DFN жақтаулары, BGA орауыш субстраттары.
3.Функционалды құрылғылар: беттік акустикалық толқын (SAW) сүзгілері, термоэлектрлік салқындату модульдері, WLCSP пластиналары.

XKH ҒЗТКЖ үлгілері үшін де, партияны өңдеу үшін де оңтайлы шешімдерді ұсына отырып, жабдық тұтынушылардың өндірістік қажеттіліктеріне толық сәйкес келетінін қамтамасыз ету үшін материалдың үйлесімділігін сынау және процесті теңшеу қызметтерін ұсынады.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Техникалық параметрлер

Параметр	Техникалық сипаттама
Жұмыс өлшемі	Φ8", Φ12"
Шпиндель	Қос ось 1,2/1,8/2,4/3,0, макс 60000 айн/мин
Пышақ өлшемі	2" ~ 3"
Y1 / Y2 осі	Бір сатылы қадам: 0,0001 мм
	Орналастыру дәлдігі: < 0,002 мм
	Кесу диапазоны: 310 мм
X осі	Берілу жылдамдығы диапазоны: 0,1–600 мм/с
Z1 / Z2 осі	Бір сатылы қадам: 0,0001 мм
Z1 / Z2 осі	Орналастыру дәлдігі: ≤ 0,001 мм
θ осі	Орналастыру дәлдігі: ±15"
Тазалау станциясы	Айналу жылдамдығы: 100–3000 айн/мин
Тазалау станциясы	Тазалау әдісі: Автоматты шаю және айналдырып кептіру
Жұмыс кернеуі	3-фазалы 380В 50Гц
Өлшемдері (W×D×H)	1550×1255×1880 мм
Салмағы	2100 кг

Жұмыс принципі

Жабдық келесі технологиялар арқылы жоғары дәлдікпен кесуге қол жеткізеді:
1.Қаттылығы жоғары шпиндель жүйесі: әртүрлі материал қасиеттеріне бейімделу үшін алмас пышақтармен немесе лазерлік кескіш бастармен жабдықталған 60 000 RPM айналу жылдамдығы.

2.Көп осьті қозғалысты басқару: ауытқусыз кесу жолдарын қамтамасыз ету үшін жоғары дәлдіктегі тор таразыларымен жұптастырылған X/Y/Z-осьтік позициялау дәлдігі ±1μm.

3.Intelligent Visual Alignment: Жоғары ажыратымдылықтағы CCD (5 мегапиксель) кесілген көшелерді автоматты түрде таниды және материалдың қисаюын немесе тураланбауын өтейді.

4. Салқындату және шаңды кетіру: термиялық әсерді және бөлшектердің ластануын азайту үшін кіріктірілген таза суды салқындату жүйесі және вакуумды соратын шаңды кетіру.

Кесу режимдері

1.Пышақты кесу: ені 50–100 мкм болатын Si және GaAs сияқты дәстүрлі жартылай өткізгіш материалдар үшін қолайлы.

2.Stealth Laser Dicing: Ультра жұқа пластиналар (<100μm) немесе нәзік материалдар (мысалы, LT/LN) үшін қолданылады, бұл кернеусіз бөлуге мүмкіндік береді.

Типтік қолданбалар

Үйлесімді материал	Қолданба өрісі	Өңдеу талаптары
Кремний (Si)	IC, MEMS сенсорлары	Жоғары дәлдікпен кесу, ұсақтау <10мкм
Кремний карбиді (SiC)	Қуат құрылғылары (MOSFET/диодтар)	Зақым аз кесу, жылуды басқаруды оңтайландыру
Галий арсениді (GaAs)	РЖ құрылғылары, оптоэлектрондық чиптер	Микрожарықтың алдын алу, тазалықты бақылау
LT/LN субстраттары	SAW сүзгілері, оптикалық модуляторлар	Пьезоэлектрлік қасиеттерді сақтай отырып, кернеусіз кесу
Керамикалық субстраттар	Қуат модульдері, жарықдиодты қаптама	Қаттылығы жоғары материалды өңдеу, жиектерінің тегістігі
QFN/DFN жақтаулары	Жетілдірілген қаптама	Көп чипті бір уақытта кесу, тиімділікті оңтайландыру
WLCSP вафельдері	Вафли деңгейіндегі қаптама	Ультра жұқа пластиналарды зақымдамай кесу (50 мкм)

Артықшылықтары

1. Соқтығысудың алдын алу дабылдары, жылдам тасымалдау позициясы және күшті қателерді түзету мүмкіндігі бар жоғары жылдамдықты кассеталық жақтауды сканерлеу.

2. Оңтайландырылған қос шпиндельді кесу режимі, бір шпиндельді жүйелермен салыстырғанда тиімділікті шамамен 80%-ға арттырады.

3. Дәл импортталған шарикті бұрандалар, сызықтық бағыттағыштар және Y осі торлы шкаласы жоғары дәлдіктегі өңдеудің ұзақ мерзімді тұрақтылығын қамтамасыз ететін жабық контурды басқару.

4. Толық автоматтандырылған тиеу/түсіру, тасымалдау позициясын анықтау, туралауды кесу және керфті тексеру, оператордың (ОП) жұмыс жүктемесін айтарлықтай азайтады.

5.Гантри стиліндегі шпиндельді орнату құрылымы, қос шпиндельдің ең аз аралығы 24 мм, қос шпиндельді кесу процестеріне кеңірек бейімделуге мүмкіндік береді.

Ерекше өзгешеліктері

1. Жоғары дәлдіктегі жанаспайтын биіктік өлшемі.

2.Бір науада көп вафельді қос жүзді кесу.

3. Автоматты калибрлеу, керфті тексеру және пышақтардың сынуын анықтау жүйелері.

4. Таңдалатын автоматты туралау алгоритмдері бар әртүрлі процестерді қолдайды.

5.Ақаулықты өздігінен түзету функционалдығы және нақты уақыттағы көп позициялық бақылау.

6.Бірінші кесілген тексеру мүмкіндігі бастапқы текшелерден кейінгі кесу.

7. Теңшелетін зауыттық автоматтандыру модульдері және басқа қосымша функциялар.

Үйлесімді материалдар

Жабдық қызметтері

Біз жабдықты таңдаудан бастап ұзақ мерзімді техникалық қызмет көрсетуге дейін жан-жақты қолдау көрсетеміз:

(1) Теңшелген әзірлеу
· Материалдық қасиеттерге негізделген пышақ/лазерлік кесу шешімдерін ұсыныңыз (мысалы, SiC қаттылығы, GaAs сынғыштығы).

· Кесу сапасын тексеру үшін үлгіні тегін сынауды ұсыныңыз (соның ішінде жоңқалау, керф ені, беттің кедір-бұдыры және т.б.).

(2) Техникалық оқыту
· Негізгі оқыту: Жабдықты пайдалану, параметрлерді реттеу, ағымдағы жөндеу.
· Жетілдірілген курстар: Күрделі материалдар үшін процесті оңтайландыру (мысалы, LT астарларын кернеусіз кесу).

(3) Сатудан кейінгі қолдау
· 24/7 Жауап: қашықтан диагностика немесе жергілікті көмек.
· Қосалқы бөлшектермен қамтамасыз ету: жылдам ауыстыру үшін жинақталған шпиндельдер, қалақтар және оптикалық компоненттер.
· Алдын ала техникалық қызмет көрсету: дәлдікті сақтау және қызмет ету мерзімін ұзарту үшін тұрақты калибрлеу.

Біздің артықшылықтарымыз

✔ Өнеркәсіп тәжірибесі: 300-ден астам жаһандық жартылай өткізгіштер мен электроника өндірушілеріне қызмет көрсету.
✔ Ең озық технология: дәл сызықтық бағыттағыштар мен серво жүйелер саладағы жетекші тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
✔ Ғаламдық қызмет көрсету желісі: жергілікті қолдау үшін Азия, Еуропа және Солтүстік Америкадағы қамту.
Тестілеу немесе сұрау үшін бізге хабарласыңыз!